Публикации
ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ В НАНОЛИТОГРАФИИ- Актуальные вопросы технических наук в современных условиях, / Сборник научных трудов по итогам международной научно-практической конференции. № 3. г.Санкт-Петербург, 2016. 151 с.
ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ В НАНОЛИТОГРАФИИ - Актуальные вопросы технических наук в современных условиях, / Сборник научных трудов по итогам международной научно-практической конференции. № 4. . г. Санкт- Петербург, 2017. 128 с.
ОСОБЕННОСТИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ С РЕЗИСТОМ И ПОДЛОЖКОЙ
